816 B
816 B
| 1 | Index | Address | ID | Description |
|---|---|---|---|---|
| 2 | 10240 | 2800 | PLC_ERROR_CODE | PLC 에러 코드 |
| 3 | 10241 | 2801 | PLC_PAGE_NO | 설정할 PLC Recipe 번호 |
| 4 | 10242 | 2802 | - | - |
| 5 | 10243 | 2803 | - | - |
| 6 | 10244 | 2804 | - | - |
| 7 | 10245 | 2805 | - | - |
| 8 | 10246 | 2806 | - | - |
| 9 | 10247 | 2807 | - | - |
| 10 | 10248 | 2808 | - | - |
| 11 | 10249 | 2809 | - | - |
| 12 | 10250 | 280A | - | - |
| 13 | 10251 | 280B | - | - |
| 14 | 10252 | 280C | - | - |
| 15 | 10253 | 280D | - | - |
| 16 | 10254 | 280E | - | - |
| 17 | 10255 | 280F | - | - |
| 18 | 10256 | 2810 | PLC_CELL_ID | PLC 셀 ID |
| 19 | 10257 | 2811 | - | - |
| 20 | 10258 | 2812 | PLC_LOT_ID | PLC 랏 ID |
| 21 | 10259 | 2813 | - | - |
| 22 | 10260 | 2814 | - | - |
| 23 | 10261 | 2815 | - | - |
| 24 | 10262 | 2816 | PLC_PARAM_1 | - |
| 25 | 10263 | 2817 | … | - |
| 26 | 10264 | 2818 | PLC_PARAM_40 | - |
| 27 | 10265 | 2819 | ||
| 28 | 10266 | 281A | ||
| 29 | 10267 | 281B | ||
| 30 | 10268 | 281C | ||
| 31 | 10269 | 281D | ||
| 32 | 10270 | 281E | ||
| 33 | 10271 | 281F | ||
| 34 | 10272 | 2820 | ||
| 35 | 10273 | 2821 | ||
| 36 | 10274 | 2822 | ||
| 37 | 10275 | 2823 | ||
| 38 | 10276 | 2824 | ||
| 39 | 10277 | 2825 | ||
| 40 | 10278 | 2826 | ||
| 41 | 10279 | 2827 | ||
| 42 | 10280 | 2828 | ||
| 43 | 10281 | 2829 | ||
| 44 | 10282 | 282A | ||
| 45 | 10283 | 282B | ||
| 46 | 10284 | 282C | ||
| 47 | 10285 | 282D | ||
| 48 | 10286 | 282E | ||
| 49 | 10287 | 282F |